埼玉工業大学

X線により誘起された光電子のエネルギー分析を行うことにより，その材料表面の組成や化学的結合状態を三次元的に評価することができます。本装置では空間分解能が数～10μmとこれまでこの手法では難しかった極めて微細な領域も解析することが可能となっているばかりでなく，電子やイオンビームの照射による中和機構が充実し，絶縁体材料の測定が可能となり，あらゆる材料について実際に分析できるようになりました。本装置により，プロジェクト研究で推進されている超機能化付与などの機構解明の一助とします。