埼玉工業大学

薄膜物性評価装置（MH4000)は各試料に圧子を押し込みそのときの押し込み深さと荷重から，硬度を測定し，オプションユニットを付け加えれば付着力，内部応力，ヤング率の測定も１台で測定できる装置です。この装置によって，軟質から硬質までの各種の薄膜素材の評価ができます。