埼玉工業大学

Ｘ線回折法による金属やセラミックスの残留応力測定は、他の方法と比べて非破壊で正確な測定が出来る特徴があります。この微小部型Ｘ線応力測定装置は、150μm程度の微小領域での測定が可能で、位置敏感型検出器（PSPC）やイメージングプレート（分解能25、50、100μm）による２次元検出器との組み合わせにより迅速に測定できます。