埼玉工業大学

三次元非接触表面形状解析システムは光を利用した材料表面の極微細なモフォロジーや種々の状態について評価する装置です。固体材料表面の粗さ，段差，うねりなどをnm～μmの領域で定量的に評価することにより，プロジェクト研究で展開されている超機能表面創製の基礎過程解明や高度の表面・界面制御技術を確立する一助となります。