超高真空走査形トンネル顕微鏡
超高真空走査形トンネル顕微鏡（HVSTM）
探針を走査し固体表面と探針の間を流れる真空トンネル電流を測定することで、表面構造やその変化を原子レベルの分解能で観察できる装置です｡ 装置は吸着や蒸着を行なう処理室と測定室から成り立っていますが、試料表面が汚れないようにいずれも超高真空に保てるようになっています。
超高真空走査形トンネル顕微鏡（HVSTM）
下図はSi(111)-(7x7)表面ではZnが特殊なハネカム構造をとって層成長することを示しています。
走査形プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）
AFM(コンタクト，ACモード，リフトモード)，位相像，FFM，STM，CITS， I-Vなど多彩なモードに対応しながら，走査形プローブ顕微鏡本来の機能を重視した，使いやすくて拡張性に優れた空気中使用の走査形プローブ顕微鏡です。
走査形プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）