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ホーム > 先端科学研究所 > 研究装置・設備のご案内 > 2階:研究装置・設備

2階:研究装置・設備



X線光電子分光装置(XPS)

X線により誘起された光電子のエネルギー分析を行うことにより、その材料表面の組成や化学的結合状態を三次元的に評価することができます。本装置では空間分解能が数~10μmとこれまでこの手法では難しかった極めて微細な領域も解析することが可能となっているばかりでなく、電子やイオンビームの照射による中和機構が充実し、絶縁体材料の測定が可能となり、あらゆる材料について実際に分析できるようになりました。本装置により、プロジェクト研究で推進されている超機能化付与などの機構解明の一助とします。

[利用目的]
超薄膜・極微領域の結合状態解析

X線光電子分光装置(XPS)

サンプルポジショニング・データ解析装置

深さ方向校正装置


高出力型X線回折実験装置

高出力型X線回折実験装置は、X線回折法により原子レベルの物性評価を行うことを目的とした実験装置です。この装置は、粉末やバルク試料の室温および高温(~1500℃)状況下における物性評価を行う粉末X線回折装置、単結晶の格子欠陥を調べるラングカメラ、薄膜材料の面内配向や表面構造を調べる薄膜構造評価X線回折装置、回転対陰極式の高出力X線発生装置(18kW)により構成されています。

[利用目的]
超精密X線光学素子および結晶の完全度評価

粉末X線回折装置

薄膜構造評価X線回折装置

ラングカメラ


X線構造解析装置

物質の単結晶(0.2mm角程度)にX線を当てると、回折現象によりX線が四方八方に散乱します。この回折X線の放出される角度と強度を精密に測定し、コンピュータで計算すると、結晶中の個々の原子の相対位置が分かります。主に分子の「形」を原子レベルでとらえる目的で使用されます。

[利用目的]
超機能性分子の結晶構造解析

イメージングプレートX線回折装置

試料吹付低温装置
空冷型循環式送水装置

測定、解析例 CpRuCl(dppm)


薄膜物性評価装置

薄膜物性評価装置(MH4000)は各試料に圧子を押し込みそのときの押し込み深さと荷重から、硬度を測定し、オプションユニットを付け加えれば付着力、内部応力、ヤング率の測定も1台で測定できる装置です。この装置によって、軟質から硬質までの各種の薄膜素材の評価ができます。

[利用目的]
薄膜の内部応力、ヤング率、付着力および硬さの計測

薄膜物性評価装置


X線応力測定装置

X線回折法による金属やセラミックスの残留応力測定は、他の方法と比べて非破壊で正確な測定が出来る特徴があります。この微小部型X線応力測定装置は、150μm程度の微小領域での測定が可能で、位置敏感型検出器(PSPC)やイメージングプレート(分解能25、50、100μm)による2次元検出器との組み合わせにより迅速に測定できます。

[利用目的]
素材加工過程における応力/ひずみの測定および解析

微小部形X線応力測定装置

イメージングプレート読取装置


3DマイクロX線CT(小動物用)

X線マイクロCTは、病院で使われているX線CTスキャンと同様に、3DでX線イメージングできます。本装置の場合、マイクロフォーカスしたX線を使うことで、分解能10μmからの測定が可能となっています。

[利用目的]
実験動物のX線高速撮影、3D画像再構成

3DマイクロX線CT(小動物用)


波長分散型蛍光X線分析装置

蛍光X線分析法は、試料の前処理が簡単で隣り合う元素の近傍スペクトルも確実に分離できます。この波長分散型蛍光X線分析装置は、測定径500μmでB(原子番号5)~U(原子番号92)の元素範囲を定性、定量分析が行えます。また、ソフトウェアも充実しており、初心者でも簡単に測定できます。

[利用目的]
合成素材中の元素の定性・定量分析

波長分散型蛍光X線分析装置


3Dデジタルマイクロスコープ

試料表面のカラー写真撮影、動画撮影、3D合成表示、寸法測定や面積計測などの機能を持っています(キーエンス VHX-2000)。高倍率で鮮明に試料表面の観察・記録ができ、その形状を3Dイメージで表示させ、各種形状データ(寸法、粗さ、面積、体積など)の情報を得ることが可能です。


超深度マルチアングル顕微鏡

光学顕微鏡の機能に加え、電子線をもちいて試料観察を行うため、光学顕微鏡に比べて高倍率・高分解能で観察することができる顕微鏡です(キーエンス VHX-D500)。また、照射角度を変えられるマルチアングル顕微鏡のため、超深度の高解像度画像を立体カラーで撮影することも可能です。


複合ビーム加工観察装置・集束イオンビーム装置(FIB)

集束イオンビーム (FIB:Focused Ion Beam) 装置は、数nm~数百nm径のGaイオンビームを試料に照射することによって、試料を掘削し任意の形状に加工する装置です。本装置は電子ビーム(SEM)により試料を観察することもできます。さらに、イオンビームにより任意の箇所でカーボンの化学気相成長を行うことが可能です。

[利用目的]
微小領域(数nm~数十µm)の任意形状加工/電子顕微鏡用試料作製

複合ビーム加工観察装置・集束イオンビーム装置(FIB)


プラズマ反応解析装置

本装置はプラズマを利用した環境汚染物質の効率的な完全分解処理システムの開発や極限反応場としてのプラズマの特長を活かした新たな物質変換プロセスを創生することを目的とした研究で使用されるもので、プラズマ気相のみならず物質凝縮相を含めた多相反応場を総合的に解析モニタリングすることが可能です。

[利用目的]
分解対象物質および分解生成物のプラズマ反応の制御・解析

多層プラズマ質量分析装置

プラズマエネルギー
アナライザー


液体クロマトグラフ質量分析計

[利用目的]
有機化合物の定性・定量分析

液体クロマトグラフ質量分析計


ガスクロマトグラフ質量分析計

[利用目的]
有機化合物の定性・定量分析

ガスクロマトグラフ質量分析計


プラズマ解析装置(HIDEN EQPアナライザー)

[利用目的]
正イオン、負イオン、ラジカル及び中性粒子の分析

プラズマ解析装置
(HIDEN EQPアナライザー)


先端材料創成装置(IBED装置)

10kVのマイクロ波イオンビーム源と、2kWEB蒸着装置を備えており、同時あるいは交互動作により表層改質、製膜を行うことができます。試料は最大100mm角に対応しており角度調整が可能です。

[利用目的]
イオンビーム促進蒸着による薄膜試料作製

先端材料創成装置(IBED装置)


アルゴンイオンレーザー

アルゴンイオンの発振波長488nm or 514nm。出力500mW以上。ビーム系1.5mm。

[利用目的]
ガスレーザー、コヒーレント光源

アルゴンイオンレーザー


小型真空蒸着装置

抵抗加熱方式によるため、高融点材料は厳しい。蒸着範囲は 50mm×50mm。

[利用目的]
金属or有機薄膜作製装置

小型真空蒸着装置


クリーンルーム(細胞培養用)

本設備は前室と本室からなり、細胞あるいは細菌の安全な培養を目的に設置されています。バイオクリーンベンチと安全キャビネットを中心に、オートクレーブ、インキュベーター、超低温フリーザー、倒立型顕微鏡などを備え、P2レベルの仕様に整備されています。

[利用目的]
細胞・細菌培養および遺伝子操作

超低温フリーザー・インキュベーター

安全キャビネット・乾熱滅菌器・恒温振とう培養器

倒立顕微鏡システム


DNA精製・解析装置

遺伝子の本体であるDNAを精製し、その塩基配列を解析するために以下の5つの装置から構成されています
[利用目的]
遺伝情報の解読および核酸の精製

1.超純水製造装置

超純水製造装置
(ミリQ SP VOC、ミリポア社製)

DNA精製・解析に必要な超純水を製造する装置。

2.HPLCシステム

HPLCシステム
(Gilson社製)

DNA解析に必要な短鎖DNAを精製する装置。

3.DNA増幅装置

DNA増幅装置
(T3, Biometra社製)

DNA解析に必要なシークエンス反応を行う装置。

4.DNAシーケンサ

DNAシーケンサ
(ABI PRISM 310, パーキンエルマー社製)

DNAの塩基配列を決定する装置。

5.蛍光マイクロプレートリーダー

蛍光マイクロプレートリーダー
(SPECTRA max GEMINI, 日本モレキュラーデバイス社製)

微量の蛍光物質を一度に多検体分析する装置。
テキストが入ります。テキストが入ります。テキストが入ります。テキストが入ります。テキストが入ります。テキストが入ります。テキストが入ります。テキストが入ります。

生体分子間相互作用解析装置(SPR)

表面プラズモン共鳴(SPR)という物理現象に基づいて、タンパク質-タンパク質、DNA-タンパク質、受容体-リガンドなどの生体分子間相互作用をリアルタイムに解析し、平衡状態における2分子間の親和性に関する情報を得ることができます。さらに目的分子の分離・精製、生体反応の諸過程の機能解析、スクリーニングの他、食品成分、環境ホルモンなどの検知・定量などにも応用可能です。

[利用目的]
生体分子間相互作用動力学的解析

BIA-COREシステム


レーザーラマン分光光度計

レーザー光を物質に照射すると、物質の分子振動によるドップラーシフトにより、入射波長からずれた波長が散乱されます。このシフトした波長とその強度を測定するのがラマン分光法です。分子振動による構造解析は赤外分光法がありますが、ラマン分光法はこれと相補的な関係にある情報が得られます。適用範囲は、電池、電子デバイス、バイオ分野など多岐にわたりますが、特にDLC など炭素材料の解析では、無比といえるほど様々な情報が得られます。