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ホーム > 先端科学研究所 > 研究装置・設備のご案内 > 3階:研究装置・設備

3階:研究装置・設備



電子線マイクロアナライザ(EPMA)& 走査型電子顕微鏡(SEM)

[利用目的]
新素材表面における元素の定性・定量分析および面分析

電子線による元素分析(EPMA)

電子線による豊富な情報を分析(EPMA)

高速・高精度の定性や定量,元素の分布状態を示す面分析など,微小部から広領域までの多種多様な分析が簡単に行なえるようにした装置です。新素材,触媒,半導体などの材料開発,鉱物や隕石など地球や宇宙の研究にも活用できます。

走査型電子顕微鏡(SEM)による表面形態観察およびEDXによる元素分析

低真空走査電子顕微鏡による分析(SEM)

走査型電子顕微鏡 (SEM) は、真空中で細く絞った電子線で試料表面を走査し、そのとき試料から出てくる電子を検出し、試料表面の拡大像を得る装置です。試料の高倍率での表面形態観察のほか、特性X線を利用した元素分析もできます。

蛍光X線による成分分析(エレメントアナライザ)

蛍光X線による成分分析
(エレメントアナライザ)

エネルギー分散形の蛍光X線分析システムで,試料を構成する元素の種類とその組成比を分析します。固体,液体を問わず分析可能で,岩石鉱物,金属材料,陶磁器,紙,工場廃液,オイルなど広範な試料がそのまま測定できます。

超高真空走査形トンネル顕微鏡

探針を走査し固体表面と探針の間を流れる真空トンネル電流を測定することで、表面構造やその変化を原子レベルの分解能で観察できる装置です。 装置は吸着や蒸着を行なう処理室と測定室から成り立っていますが、試料表面が汚れないようにいずれも超高真空に保てるようになっています。

[利用目的]
固体表面の原子配列、化学反応,ナノ新素材の創成等の研究

超高真空走査形トンネル顕微鏡(HVSTM)

左図はSi(111)-(7x7)表面ではZnが特殊なハネカム構造をとって層成長することを示しています。

走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)は、微小な探針(プローブ)を試料表面に近づけて、試料と探針間に働く力学的・電磁気的相互作用を検出しながら走査し、試料表面を三次元的に観察する顕微鏡です。 ナノスケールでの試料表面の情報(凹凸、 摩擦力、 導電性、 磁性等)を得ることができます。

[利用目的]
試料表面のナノスケールでの形状観察評価、物性測定

走査型プローブ顕微鏡(SPM)